Editors: Michał Szermer, Andrzej Napieralski
ISBN: 978-83-66287-64-8
Format B-5, oprawa miękka, s.168
Data wydania: 2020
Autorzy przedstawili sposób modelowania membran krzemowych, siłowników termicznych, siłowników elektrotermicznych, akcelerometrów i mikrobolometrów pokazując poszczególne etapy modelowania każdego z tych komponentów mikrosystemowych i przykładowe wyniki obliczeń.
Praca podzielona na 8 rozdziałów obejmujących wprowadzenie, ogólny opis systemu ANSYS oraz 6 rozdziałów opisujących sposób modelowania lub projektowania wybranych komponentó mikrosystemów,
umożliwia samodzielne studiowanie zagadnienia .